クリーンルーム管理と言えば、通常は気中の微粒子濃度、すなわち気中清浄度管理が一般的です。しかし、実際には製品の表面汚染防止のためにクリーンルームを導入しているというケースも多くあると思います。 その場合、パーティクルカウンターによる気中粒子濃度管理だけでは不十分です。このページでは、JACA（日本空気清浄協会）及びISOの表面清浄度規格と粗大粒子カウンターによる表面清浄度管理について提案します。

「RACCAR」粗大粒子カウンターは、「落下塵（落下してきた粗大粒子）」を測定するだけでなく、他の用途でも使用可能です。 また、その結果からクリーンルームの定説を覆すような事例を得ることもあります。 このページでは「RACCAR」粗大粒子カウンターの4つの使用例をご紹介します。

クリーンルーム内には5μmより大きなダストはない？？一般的なパーティクルカウンターの最大の粒径は5μm。実は5μm～100μmの範囲も目にはよく見えませんが、この範囲のゴミがあるのかないのか、実はパーティクルカウンターではよくわからないのです。 作業工程内のホコリの対象サイズに適する見える化ツールを選びましょう。